不銹鋼真空泵不能在大氣壓下工作，所以它需要預真空。一些不銹鋼真空泵出口壓力低于大氣壓力，所以它需要一個前級泵。所以所有的泵都需要組合使用。真空設備對油污的要求。如果嚴格要求無油設備，應選用各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，以及一些防油污措施，如加裝冷阱、擋板、集油器等。也能滿足潔凈真空的要求。

　　在其工作壓力下，不銹鋼真空泵應能排出真空設備過程中產生的所有氣體，由于該產品需要選擇性泵送，有時一臺泵不能滿足泵送要求，需要幾臺泵組合起來，互相補充才能滿足泵送要求。比如鈦升華泵對氫氣有很高的抽速，但不能抽氦氣，而三極濺射離子泵(或兩極不對稱陰極濺射離子泵)對氬氣有一定的抽速。如果將兩種泵組合起來，真空裝置將獲得更好的真空度。

　　不銹鋼真空泵應安裝在地面堅實的地方，周圍應有足夠的空間，以方便檢查和維修。基礎標高應保持在不銹鋼真空泵的底座之下，建議在底座的四角墊上減震橡膠或用螺栓澆鑄安裝，以保證不銹鋼真空泵的平穩(wěn)運行和低振動
　　與不銹鋼真空泵系統(tǒng)的連接管道應密封可靠。金屬管道的密封墊可用于小型不銹鋼真空泵，真空軟管可用于小型不銹鋼真空泵，管道直徑不應小于不銹鋼真空泵，的吸入直徑，并要求管道短，彎頭少。